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压阻式压力传感器基本工作原理及特点
来源:pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台 发表于 2014/7/15

  1、压阻式压力传感器的工作原理

  压阻式压力传感器是由平面应变pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台发展起来的一种新型压力传感器。它以硅片作为弹性敏感元件,任该膜片上用集成电路扩散工艺制成四个等值导体电阻,组成惠斯登电矫,当膜片受力后、由于半导体的压阻效应.电阻值发生变化,使电桥输出而测得压力的变化,利用这种方法制成的压力传感器叫压阻式压力传感器

  相似于电阻应变式传感器 

  其中


  金属电阻应变片的灵敏度系数主要利用 的应变效应,而半导体应变片主要利用电阻率 的变化,这就是压阻式压力pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台的基本原理,它是利用压阻效应的结果。


  2、压阻式压力传感器的特点 
     

  结构简单、可微型化。

  压阻式压力传感器的优点:

  可测高频
  灵感度高
  精度高
  受温度影响大

  压阻式压力传感器的缺点:      

  量程小
  不耐腐蚀
  工艺复杂

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