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- 压阻式压力传感器基本工作原理及特点
- 来源:pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台 发表于 2014/7/15
1、压阻式压力传感器的工作原理
压阻式压力传感器是由平面应变pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台发展起来的一种新型压力传感器。它以硅片作为弹性敏感元件,任该膜片上用集成电路扩散工艺制成四个等值导体电阻,组成惠斯登电矫,当膜片受力后、由于半导体的压阻效应.电阻值发生变化,使电桥输出而测得压力的变化,利用这种方法制成的压力传感器叫压阻式压力传感器。
相似于电阻应变式传感器
其中
金属电阻应变片的灵敏度系数主要利用 的应变效应,而半导体应变片主要利用电阻率 的变化,这就是压阻式压力pg电子游戏官网官方网站-pg电子竞技平台的基本原理,它是利用压阻效应的结果。
2、压阻式压力传感器的特点
结构简单、可微型化。
压阻式压力传感器的优点:
可测高频
灵感度高
精度高
受温度影响大
压阻式压力传感器的缺点:
量程小
不耐腐蚀
工艺复杂
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